一種高致密性氧化鈮旋轉靶材的制備方法

       目前市場上用得最多的是氧化鈮平面靶材，雖然平面靶材技術趨于成熟，但是平面靶材在使用過程中利用率只有20% — 25%，也就是大部分的靶材被浪費掉，無形中增加了生產成本。為了提高靶材利用率和降低生產成本，人們在不斷研究新的靶材型體，經過多年的研究，發現旋轉靶的利用率非常高，可達到70% — 80%，高利用率可降低下游產品的成本，同時更環保更節約材料。

       氧化鈮靶材是制備AR玻璃(減反射玻璃)，消影ITO玻璃的重要材料。AR玻璃是利用國際上最先進的磁控濺射鍍膜技術在普通的強化玻璃表面鍍上一層氧化鈮減反射膜，可有效地消減了玻璃本身的反射，增加了玻璃的透過率，使原先透過玻璃的色彩更鮮艷，更真實。目前氧化鈮旋轉靶材的生產主要采用噴涂工藝，此工藝生產的靶材密度低，一般小于80%，在使用過程中容易打火、掉渣，影響下游產品的質量及成品率。目前一些對濺射質量要求高的廠家都進口國外的旋轉靶材，成本高，而且受制于人，所以對制備高致密性的旋轉靶材工藝的開發是發展的必然趨勢。

       這種高致密性氧化鈮旋轉靶材的制備方法，其特征在于一種高致密性氧化鈮旋轉靶材的制備方法，按以下步驟進行: 一、氧化鈮粉體預處理:將質量比為20:1~50:1的高純氧化鈮粉和鉭粉混合均勻后，在常壓燒結爐中于350~550°C下煅燒I~3小時，得到預處理后的氧化鈮粉體； 二、旋轉靶粗品的制備:將步驟一所得的預處理后的氧化鈮粉體裝入模具中，并在模具與粉體的接觸面涂抹二硫化鑰粉；先將模具放入真空熱壓燒結爐中，在真空環境下，將溫度均勻升至10°C~1300°C，加壓至15~30Mpa后，保溫保壓1~5小時；然后采用高溫脫模工藝在400~1100°C對旋轉靶進行脫模，再降至常溫，即制得旋轉靶粗品； 三、精加工處理:將步驟二中制得的旋轉靶粗品進行機械加工、清洗和檢驗，即為成品。